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UMS130-X 系列(超高精度直線(xiàn)電機平臺)

一維直線(xiàn)電機運動(dòng)平臺

所屬分類(lèi):

詳細介紹

 

參數\型號

UMS130-60X

-110X

-160X

電機類(lèi)型

三相無(wú)鐵芯電機

光柵類(lèi)型

增量式光柵0.1um(可選最高1nm光柵,絕對式選配)

電機推力

額定40N 峰值90N

加速度(空載)

3G

2.5G

2G

限位類(lèi)型

機械、光電、軟件(三重限位保護)

材質(zhì)

鋁合金6061-T6(可選不銹鋼)

行程 mm

60

110

160

定位精度 um

±3um(校準±0.5um)

重復定位精度 um

±0.1um(±50nm 對應5nm以上光柵)

最大速度 mm/s

300mm/s

最大負載 kg

6

8

12

 

關(guān)鍵詞:

吉螢光電

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