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UMS130-X 系列(超高精度直線(xiàn)電機平臺)
一維直線(xiàn)電機運動(dòng)平臺
所屬分類(lèi):
詳細介紹
參數\型號 |
UMS130-60X |
-110X |
-160X |
電機類(lèi)型 |
三相無(wú)鐵芯電機 |
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光柵類(lèi)型 |
增量式光柵0.1um(可選最高1nm光柵,絕對式選配) |
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電機推力 |
額定40N 峰值90N |
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加速度(空載) |
3G |
2.5G |
2G |
限位類(lèi)型 |
機械、光電、軟件(三重限位保護) |
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材質(zhì) |
鋁合金6061-T6(可選不銹鋼) |
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行程 mm |
60 |
110 |
160 |
定位精度 um |
±3um(校準±0.5um) |
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重復定位精度 um |
±0.1um(±50nm 對應5nm以上光柵) |
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最大速度 mm/s |
300mm/s |
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最大負載 kg |
6 |
8 |
12 |
關(guān)鍵詞:
吉螢光電
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在線(xiàn)詢(xún)價(jià)