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精巧型三軸組合真空位移臺:VA22EZHXYZ2015

※ XY平移臺采用進(jìn)口精密滾珠螺桿驅動(dòng),重復定位精度和絕對定位精度好,軸向間隙小,壽命長(cháng);
※ 導軌采用高精度交叉滾柱導軌,運動(dòng)舒適,承載大,適合單軸或多軸組合使用;
※ 精磨電移臺底板和合理的導軌固定方式大大的降低了電移臺的俯仰和偏擺,使運動(dòng)的直線(xiàn)度和平行度有較大提高;
※ 升降臺系采用交叉滾珠導軌,保證運動(dòng)平穩,承載大,壽命長(cháng);
※ 采用精密研配絲杠驅動(dòng),運動(dòng)舒適,可以任意升降且空回極??;
※ 真空步進(jìn)電機和絲桿通過(guò)高品質(zhì)彈性聯(lián)軸節連接,傳動(dòng)同步,消偏性能好,大大降低了偏心擾動(dòng)且噪音小。
※ 電動(dòng)升降臺平放使用,可與其他種類(lèi)臺子組成多維電動(dòng)調整臺;

詳細介紹

產(chǎn)品型號:VA22EZHXYZ2015
結構
描述
真空度 ≤10-4pa(低于此真空度皆可使用)
負載臺面尺寸 60mm
X、Y軸行程 20mm
Z軸行程 15mm
平移傳動(dòng)方式 THK導軌;TBI絲桿;絲桿導程:1mm
升降傳動(dòng)方式 1/2楔形,研磨絲桿,螺距1mm
主要材質(zhì) 高強度航空鋁材(7075)
主要材質(zhì)表面處理 真空使用不氧化外觀(guān);二次精磨
精度
描述
中心負載 2kg
分辨率8細分/整步 0.000625mm/0.005mm
速度 ≤2mm/sec
XY軸重復定位精度 ≤3μm
Z軸重復定位精度 ≤10μm
電機類(lèi)型 35真空步進(jìn)電機
電機線(xiàn) 聚醚乙胺線(xiàn)
電機步進(jìn)角 1.8°
額定工作電流 1A
電源電壓 24V±10%
限位開(kāi)關(guān) 光電開(kāi)關(guān)

 

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